電子工業(yè)無(wú)塵廠房檢測(cè)電子工業(yè)潔凈室檢測(cè)潔凈廠房也叫無(wú)塵車間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別。
電子工業(yè)潔凈廠房的檢測(cè)項(xiàng)目風(fēng)量（換氣次數(shù)）或風(fēng)速、靜壓差、高效過(guò)濾器（PAO）檢漏、懸浮粒子數(shù)、氣流流型 、溫度、相對(duì)濕度、噪聲、照度、自凈時(shí)間 、密閉性檢測(cè) 、臭氧濃度、隔離檢漏 、表面靜電檢測(cè)等。
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電子潔凈室檢測(cè)項(xiàng)目
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風(fēng)量（換氣次數(shù)）或風(fēng)速測(cè)試
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溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)
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靜壓差測(cè)試
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噪聲檢測(cè)
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已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試
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微振檢測(cè)
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潔凈度檢測(cè)（塵埃粒子檢測(cè)）
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自凈時(shí)間檢測(cè)
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氣流流型檢測(cè)
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密閉性檢測(cè)
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照度測(cè)試
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表面靜電性能檢測(cè)
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檢測(cè)對(duì)象
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檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
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電子無(wú)塵室/潔凈室
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《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472-2008
《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50073-2013
《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50591-2010
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電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50472-2008
D.3 潔凈室測(cè)試方法
D.3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 對(duì)于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測(cè)試平面。應(yīng)將測(cè)試平面分成相等的柵格，每個(gè)柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸，測(cè)點(diǎn)應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
2 對(duì)于非單向流潔凈室，每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。
3 在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個(gè)測(cè)試位置的測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。
D.3.2 靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。
2 儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
3 潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí)，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。
D.3.3 已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試（高效過(guò)濾器檢漏），應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l／mm的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。
2 應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×107P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm／s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。
D.3.4 潔凈室潔凈度檢測(cè) 潔凈度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)使用采樣量大于1 l／min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書(shū)。
2 最少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算：
NL＝A0.5 (D．3．4—1)
式中 NL——最少采樣點(diǎn)；
A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。
采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。
3 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定：
4 當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。
D.3.5 氣流流型的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 氣流流型的檢測(cè)，宜采用氣流目測(cè)法。
2 氣流目測(cè)法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。
3 示蹤線法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。
4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。
5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè)，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。
6 氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。
D.3.6 溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測(cè)試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后進(jìn)行。
2 相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為100㎡，應(yīng)每格一個(gè)測(cè)點(diǎn)，但每個(gè)房間不應(yīng)少于2個(gè)測(cè)點(diǎn)。
3 檢測(cè)用探測(cè)器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。
4 檢測(cè)時(shí)間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數(shù)、記錄。
D.3.7 噪聲檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。
2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于3m；檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100㎡設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)。
D.3.8 照度測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。
2 照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。
3 照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25㎡設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。
D.3.9 微振檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場(chǎng)所的檢測(cè)，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動(dòng)值要求的微振測(cè)試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測(cè)試。
2 微振檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計(jì)的要求設(shè)置，一般檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。
3 微振控制的檢測(cè)應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過(guò)科學(xué)分析后，提供微振控制檢測(cè)報(bào)告，應(yīng)包括檢測(cè)數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。
D.3.10 自凈時(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。
2 自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求。
1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間(t)。
2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī)，方法同上。
3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計(jì)算自凈時(shí)間t0)，與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比，如果t≤1. 2t0，為合格。
4 自凈時(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自凈時(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。
D.3.11 密閉性檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 密閉性檢測(cè)或稱抑制滲漏測(cè)試，是測(cè)定潔凈室(區(qū))有無(wú)受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測(cè)一般用于ISO 1～5級(jí)潔凈室(區(qū))。
2 采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測(cè)時(shí)應(yīng)先測(cè)量緊靠被測(cè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3.5×106個(gè)／m3待測(cè)粒徑的粒子。
3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對(duì)墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在被測(cè)部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm／s。
潔凈室敞開(kāi)門處的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在距離門0.3～3.0m處測(cè)定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。
記錄并報(bào)告比測(cè)得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置
